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[ベスト] si 比誘電率 241346
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は高誘電率膜の物理膜厚をT,誘電率をε,SiO2膜の誘電率 をεSiO2とすると,次の関係にある。 EOT=εSiO2×T/ε 誘電率が高ければ高いほど同じSiO2膜換算膜厚でも物理 膜厚を厚くできるので,漏れ電流を抑えるには有利となる。半導体材料の基本特性 項目 Si 4HSi...
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